• 专利附录
  • 专利说明
  • 权利要求
  • 类似技术
  • 同族专利
  • 引用文献
  • 法律状态
  • 优先权
    • 专利摘要:
    Esist ein Beleuchtungskondensor (10) für ein Partikeloptik-Projektionssystem(2) offenbart. Der Beleuchtungskondensor (10) besteht aus einermagnetischen Linse (11), die mehrere Spalten umfasst. Die magnetischeLinse ist aus einer Sequenz von mehreren partiellen Linsen (14,15, 16, 17, 18) aufgebaut.
    公开号:DE102004019835A1
    申请号:DE200410019835
    申请日:2004-04-23
    公开日:2006-03-02
    发明作者:Hans-Joachim Doering；Thomas Dr. Elster
    申请人:Vistec Electron Beam GmbH；
    IPC主号:G03F7-20
    专利说明:
    [0001] DieErfindung betrifft einen Beleuchtungskondensor für ein Partikeloptik-Projektionssystem.
    [0002] Inder Halbleiterfertigung ist es oft erforderlich, dass ein Objekt(Maske bzw. Vielstrahlmodulator) mit Hilfe eine Kondensors telezentrischbeleuchtet wird, dabei wird üblicherweiseaufgrund der sphärischenAberration des Kondensors der partielle Crossover eines achsfernenPunktes auf der Maske von der Achse weggelenkt, was zu zusätzlichenFehlern (schrägerStrahleinfall im Target, Astigmatismus und/oder Verzeichnung) führt. DieAußeraxialität des Crossoversführt zuzusätzlichenAberrationen im Partikularoptik-Projektionsgerät, da die Strahlen die Linsenfelderin größerer Entfernungvon der Achse passieren. Die Außeraxialität des partiellenCrossovers wird wesentlich verursacht durch die sphärische Aberrationdes Beleuchtungs-Kondensors. Die Wirkung der sphärischen Aberration des Beleuchtungs-Kondensorsist proportional zur dritten Potenz der im Crossover wirksamen Apertur.Diese Apertur ist bei Großfeld-Partikeloptik-Projektionssystemen sehrgroß,typisch 100 mrad. Sie kann bei vorhandenem Beleuchtungskondensornur durch einen sehr großenAbstand zwischen der Partikel-Quelle und der Maske / des Multiapertur-Vielstrahlmodulators reduziertwerden. Dies führtjedoch zu extremer Bauhöhedes Partikularstrahl-Projektionsgerätes.
    [0003] ImU.S. Patent 5,742,062 ist eine elektrostatische Linse beschrieben,die aus einer Vielzahl ringförmigerElektroden besteht, an die verschiedene Potentiale angelegt sind.Diese Linse ist geeignet, eine großflächige, parallele Beleuchtungeines Objektes (Maske) mit geladenen Teilchen zu ermöglichen. Durchgeeignete Wahl der Elektrodenpotentiale ist es möglich, die Linsenaberrationenzu minimieren. Nachteilig ist der große technische Aufwand zur Bereitstellungeiner Vielzahl unterschiedlicher Potentiale mit hoher zeitlicherKonstanz. Fürden Fall hoher Strahlenergie (50...200keV) sind die notwendigen Isolationsstreckenlang, die Vakuumdurchführungen entsprechendgroß unddamit auch das benötigteVakuumvolumen fürdiese Anordnung. Daraus folgt der Nachteil, dass die Abschirmungdes Partikelstrahls gegen magnetische Störfelder sehr aufwendig ist,da geeignete Abschirmzylinder z.B. aus Mu-Metall einen großen Radiusund dicke Wandstärkebenötigen. Weiterhinist die Gasabgabe der großenOberfläche derElektroden und Isolatoren nachteilig für den angestrebten niedrigenEnddruck im Rezipienten und eine entsprechend geringe Kontaminationsrate.
    [0004] DasPaper von Rose zur magnetisch-elektrostatischen Multielektroden-Linse;D. Preikszas, H. Rose, Optik 100 (1995), 179; offenbart eine kombiniertemagnetisch-elektrostatische Linse, die aus einer Anzahl identischerElemente (Aperturen, Ringströme)besteht, die so angesteuert werden, dass Aberrationen weitgehendunterdrücktwerden
    [0005] DerStand der Technik ist dadurch gekennzeichnet, dass die sphärische Aberrationdes Beleuchtungs-Kondensors in Partikularstrahl-Projektionsgeräten nicht bzw. nur über diegroßeradiale Ausdehnung des Kondensors reduziert wird. Dies beschränkt wesentlichdie möglicheGröße der Maske und/oderdes Multiapertur-Strahlmodulators. Es gibt lediglich Versuche, mitelektrostatischen Kondensorlinsen, die sehr viele Elektroden besitzen(Multiapertur-Kondensor), eine solche Form des elektrostatischenFeldes des Kondensors zu erzielen, dass die sphärische Aberration weitgehendunterdrücktwird. Ein solcher elektrostatischer Multiapertur-Kondensor erfordert jedoch eine Vielzahlvon Hochspannungs-Versorgungen fürdie einzelnen Elektroden und ist deshalb nur beschränkt verwendbar.
    [0006] DerErfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Projektionsgerät zur Belichtungvon Substraten derart auszugestalten, dass eine Maske oder ein Multiapertur-Strahlmodulator vorzugsweisetelezentrisch beleuchtet werden. Ferner soll die Bauhöhe des Projektionsgeräts in vernünftigenGrenzen gehalten werden.
    [0007] Esist von Vorteil, wenn der Beleuchtungskondensor für ein Partikeloptik-Projektionssystem auseiner magnetischen Linse aufgebaut ist, und dass die magnetischeLinse mehrere Spalte umfasst. Dabei ist die Anzahl der Spalte größer odergleich fünf.Die magnetische Linse setzt sich aus einer Sequenz von mehrerenpartiellen Linsen zusammen. Jede der mehreren partiellen Linsenumfasst eine separate Wicklung, von denen jede einzeln ansteuerbar ist.Mindestens zwei benachbarte, partielle Linsen besitzen einen gemeinsamenPolschuh.
    [0008] Fernerist von Vorteil, wenn der Beleuchtungskondensor derart ausgestaltetist, dass die Aberration des Quell-Crossover minimiert ist, wobeidie radiale Ausdehnung, der maximale Bohrungsradius Rk desBeleuchtungskondensors einen Wert aufweist, der kleiner als 150mm ist.
    [0009] Weiterhinkann es von Vorteil sein, dass ein derartiger Beleuchtungskondensormit einer elektrostatischen Zerstreuungslinse kombiniert wird, was dieAberrationen weiter minimiert.
    [0010] DesWeiteren kann es von Vorteil sein, dass ein derartiger Beleuchtungskondensorals Mehrspalt-Dublette (Zwei Mehrspalt-Linsen hintereinander mitentgegengesetzter Bilddrehung) ausgeführt wird. In diesem Fall würden sichanisotrope Restfehler kompensieren.
    [0011] DieseAufgabe wird durch ein System mit den Merkmalen des Anspruchs 1gelöst.
    [0012] Esist von besonderem Vorteil, wenn die Beleuchtung der Maske derarterfolgt, dass der partielle Crossover eines Punktes auf der Maskeoder des Multiapertur-Strahlmodulators so weit wie möglich aufder optischen Achse des Partikelstrahl-Projektionsgerätes verbleibt.
    [0013] Inder Zeichnung ist der Erfindungsgegenstand schematisch dargestelltund wird anhand der Figuren nachfolgend beschrieben. Dabei zeigen:
    [0014] 1 eineschematische Darstellung des Strahlengangs in einem Partikeloptik–Projektionssystem;
    [0015] 2 einAusführungsbeispieleines erfindungsgemäßen magnetischenBeleuchtungskondensors; und
    [0016] 3 eineAnsicht der axialen Feldverteilung des magnetischen Beleuchtungskondensors;
    [0017] 1 zeigtden prinzipiellen Strahlengang in einem Partikeloptik-Projektionssystem 2.In der nachstehenden Beschreibung wird das Partikeloptik-Projektionssystem 2 beschrieben,dabei sind die Partikel Elektronen. Von einer Elektronenkanone (Partikelkanone) 30 wirdein Elektronenstrahl 31 erzeugt, der sich in Richtung einerelektronenoptischen Achse 32 ausbreitet. Die aus der Elektronenkanone 30 austretendenElektronen weisen einen Quell-Crossover 310 auf.Der Elektronenkanone 30 ist eine Strahlzentriereinrichtung 33 nachgeschaltet, dieden Elektronenstrahl 31 symmetrisch um die optische Achse 32 ausrichtet.Nach der Strahlzentriereinrichtung durchläuft der Elektronenstrahl 31 einen Beleuchtungskondensor 10,der aus dem anfänglich divergentenElektronenstrahl 31 einen parallelen Strahl formt. Derdurch den Beleuchtungskondensor 10 geformte Strahl besitzteinen Durchmesser, über dendie Intensitäthomogen verteilt ist. Nach dem Beleuchtungskondensor 10 isteine Aperturplatte 34, mit einer Vielzahl von Öffnungen 35 für den Elektronenstrahlvorgesehen. Nach der Aperturplatte 34 folgt eine Beschleunigungslinse 36,an die sich mindestens eine magnetische Linse 50 zur Strahldrehung anschließt. In demhier dargestellten Ausführungsbeispiel sindzwei weitere magnetische Linsen 37 gezeigt, die der verkleinerndenAbbildung der Aperturplatte 34 dienen. Bevor der Elektronenstrahl 31 auf einTarget 40 trifft, das z.B. ein Wafer ist, durchläuft derElektronenstrahl 31 eine Objektivlinse 38. Die Objektivlinse 38 istmit einer Vielzahl von Elementen ausgestattet. Vor und nach einemzweiten Crossover 312 des Elektronenstrahls 31 isteine Ablenkeinrichtung 42 vorgesehen. Die Ablenkeinrichtung 42 dient zumAuslenken und zur Lagebestimmung des Elektronenstrahls 31 bzw.der Vielzahl der Einzelstrahlen, die durch die Aperturplatte 34 erzeugtwerden. Ferner ist eine Fokussierlinse 44 für die dynamischeFokussierung und eine Spulenanordnung 46, die als Stigmatorwirkt, vorgesehen. Die Objektivlinse 38 besitzt an derdem Target 40 gegenüberliegendenStelle einen Höhensensor 48 undeinen Detektor fürdie vom Target 40 rückgestreutenElektronen.
    [0018] 2 zeigteine Ausführungsformeines erfindungsgemäßen Beleuchtungskondensors 10.Der Beleuchtungskondensor 10 besteht aus einer magnetischenLinse 11, die aus einer Vielzahl von Spalten 12 aufgebautist. Bevorzugt ist eine Spaltenzahl ny >= 5. Der Beleuchtungskondensor 10 stellteine magnetische Linse mit einer langen Brennweite dar. Die Brennweitebeträgttypisch um die 500mm. Der aus dem Beleuchtungskondensor 10 austretende Partikelstrahlbeleuchtet, vorzugsweise telezentrisch, eine Maske oder einen Multiapertur-Strahlmodulator odereine Aperturplatte 40. Dazu ist es erforderlich, dass derQuell-Crossover 310 im objektseitigen Brennpunktdes Beleuchtungskondensors 10 steht, d.h., der Quell-Crossover 310 wird ins Unendliche abgebildet. Beidem in 2 dargestellten Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen magnetischenBeleuchtungskondensors 10 umfasst die magnetische Linse 11 fünf Spalte.Der Beleuchtungskondensor 10 besteht demzufolge aus einerSequenz von mehreren partiellen Linsen 14, 15, 16, 17 und 18, dieim Strahlengang 20 des Partikularoptik-Projektionsgerätes 2 vorder Maske oder einer Aperturplatte 40 angeordnet sind unddiese vorzugsweise telezentrisch beleuchten. Jede partielle Linse 14, 15, 16, 17, 18 hatdabei eine erste Wicklung 14a, 15a, 16a, 17a, 18a mitseparat einstellbarer Erregung. Vorteilhaft kann die Einstellungder separaten Erregungen der partiellen Linsen auch über eineindividuelle Windungszahl für dieersten Wicklungen 14a, 15a, 16a, 17a, 18a erfolgen,wobei die Stromversorgung der in Reihenschaltung betriebenen Wicklungendann aus einer gemeinsamen Stromquelle erfolgt. Weiterhin kann esvon Vorteil sein, zusätzlichzu den ersten Wicklungen (Grobwicklungen) 14a, 15a, 16a, 17a, 18a„ zweiteWicklungen (Feinwicklungen) 14b, 15b, 16b, 17b, 18b vorzusehen.Die zweiten Wicklungen (Feinwicklungen) 14b, 15b, 16b, 17b, 18b besitzen vorzugsweiseindividuelle Windungszahlen fürjede partielle Linse 14, 15, 16, 17, 18.Mittels Erregungsvariation der in Reihenschaltung betriebenen Feinwicklungenkann auf einfache Weise eine feinfühlige Brennweitenvariationerfolgen, wenn gleichzeitig die Reihenschaltung der Grobwicklungenaus einer gemeinsamen Konstantstromquelle erfolgt. Zwei benachbartepartielle Linsen besitzen einen gemeinsamen Polschuh 19.Die Erregungen und Spalte der partiellen Linsen 14, 15, 16, 17, 18 sowiedie Durchmesser der Polschuhe 19 sind voneinander verschieden.Bei dem in 2 dargestellten Ausführungsbeispielmit fünfSpalten könneninsgesamt sechzehn Parameter individuell dabei so gewählt werden,dass die sphärischeAberration des Beleuchtungskondensors 10 bei der Abbildungdes Quell-Crossover 310 minimiert ist. Dies geschieht unterder Nebenbedingung, dass die radiale Ausdehnung, der maximale BohrungsradiusRk des Beleuchtungskondensors 10 einegewisse Größe nicht übersteigt.Eine typische Größe für den BohrungsradiusRk des Beleuchtungskondensors 10 istdabei kleiner als 150 mm. Der Beleuchtungskondensor 10 istin der Darstellung der 2 lediglich zur Hälfte dargestellt.Der Beleuchtungskondensor ist um eine Achse 21 des Strahlengangs 20 rotationssymmetrisch.Der Strahlengang 20 durchläuft den Beleuchtungskondensor 10 voneinem Strahleintritt A zu einem Strahlaustritt B. Die magnetischenFeldlinien 22 bilden sich bei dem Beleuchtungskondensor 10 dergegenwärtigenErfindung derart aus, dass sie weiter von der Achse 21 desStrahlengangs 20 zurücktretenje mehr man sich dem Punkt B des Beleuchtungskondensors 10 nähert. Mitanderen Worten, ist die durch die magnetischen Feldlinien 22 dargestelltemagnetische Feldstärke 24 amStrahlaustritt A des Beleuchtungskondensors 10 geringerals am Strahleintritt B.
    [0019] 3 zeigtden Verlauf der axialen Feldverteilung eines optimierten Beleuchtungskondensors 10.Da der Quell-Crossover 310 vorzugsweiseins Unendliche abgebildet wird, erfolgt die Optimierung des Beleuchtungskondensors 10 derart,dass der Quotient aus Crossover-Fehlerscheibchenund Crossover-Durchmesser minimal wird, wenn der Crossover im Grenzfallgegen Unendlich geht. Die magnetische Feldstärke 24 des erfindungsgemäßen Beleuchtungskondensors 10 istin Abhängigkeitvon der Lage bezüglichder Achse 21 des Strahlenganges dargestellt. Dabei istzu erkennen, dass die magnetische Feldstärke 24 im Bereichvon Punkt A stark zunimmt und auf kurzer Distanz ein Maximum erreicht.Vom Maximum ausgehend fälltdie magnetische Feldstärke 24 dannkontinuierlich ab und erreicht in etwa beim Punkt B den Wert Null.
    [0020] DieErfindung wurde bezüglicheines besonderen Ausführungsbeispielsbeschrieben, es ist jedoch fürjeden Fachmann selbstverständlich,dass im Rahmen des handwerklichen Könnens eines Fachmanns Änderungenund Abwandlungen durchgeführt werdenkönnenohne dabei den Schutzbereich der nachstehenden Patentansprüche zu verlassen.
    权利要求:
    Claims (15)
    [1] Beleuchtungskondensor (10) für ein Partikeloptik-Projektionssystem dadurchgekennzeichnet, dass der Beleuchtungskondensor (10)aus einer magnetischen Linse (11) aufgebaut ist, und dassdie magnetische Linse (11) mehrere Spalte umfasst
    [2] Beleuchtungskondensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,dass die Anzahl der Spalte größer alsfünf ist.
    [3] Beleuchtungskondensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,dass die Anzahl der Spalte fünfist.
    [4] Beleuchtungskondensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,dass die magnetische Linse aus einer Sequenz von mehreren partiellenLinsen (14, 15, 16, 17, 18)aufgebaut ist.
    [5] Beleuchtungskondensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,dass jede der mehreren partiellen Linsen (14, 15, 16, 17, 18)eine separate Wicklung (14a, 15a, 16a, 17a, 18a)umfasst, von denen jede einzeln ansteuerbar ist.
    [6] Beleuchtungskondensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,dass jede der mehreren partiellen Linsen (14, 15, 16, 17, 18)erste separate Wicklungen (14a, 15a, 16a, 17a, 18a)und zweite separate Wicklungen (14b, 15b, 16b, 17b, 18b)umfasst, wobei das Verhältnisder Windungszahlen der ersten (14a, 15a, 16a, 17a, 18a)bzw. der zweiten Wicklungen (14b,15b,16b,17b,18b)so gewähltist, dass die partiellen Linsen (14, 15, 16, 17, 18)die gewünschte Erregungerhalten, wenn die ersten Wicklungen (14a, 15a, 16a, 17a, 18a)in Reihenschaltung und die zweiten Wicklungen (14b, 15b, 16b, 17b, 18b)in Reihenschaltung betrieben werden.
    [7] Beleuchtungskondensor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,dass die ersten Wicklungen (Grobwicklungen) (14a, 15a, 16a, 17a, 18a)der partiellen Linsen (14, 15, 16, 17, 18)mit dem selben, konstanten Strom durchflutet werden und die zweiten Wicklungen(Feinwicklungen) (14b, 15b, 16b, 17b, 18b)der partiellen Linsen (14, 15, 16, 17, 18)in Reihenschaltung von einem variablen Strom durchflutet werden.
    [8] Beleuchtungskondensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,dass mindestens zwei benachbarte, partielle Linsen (14, 15, 16, 17, 18)einen gemeinsamen Polschuh (19) besitzen.
    [9] Beleuchtungskondensor nach einem der Ansprüche 1 bis8, dadurch gekennzeichnet, dass das Partikeloptik-Projektionssystem(2) eine optische Achse (32) definiert, um dieder Beleuchtungskondensor (10) rotationssymmetrisch aufgebautist.
    [10] Beleuchtungskondensor nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,dass die Aberration eines Quell-Crossover (310 )minimiert ist, wobei ein maximaler Bohrungsradius Rk desBeleuchtungskondensors (10) einen Wert aufweist, der kleinerals 150 mm ist.
    [11] Beleuchtungskondensor nach Anspruch 10, dadurchgekennzeichnet, dass die magnetische Feldstärke (24) am Strahlaustritt(B) annäherndder Wert Null erreicht hat.
    [12] Beleuchtungskondensor nach einem der Ansprüche 1 bis11, dadurch gekennzeichnet, dass der Quell-Crossover (310 ) einer Elektronenkanone (30) imobjektseitigenseitigen Brennpunkt des Beleuchtungskondensor (10)steht, so dass der Quell-Crossover (310 )in das Unendliche abgebildet ist.
    [13] Beleuchtungskondensor nach einem der Ansprüche 1 bis12, dadurch gekennzeichnet, dass der Beleuchtungskondensor (10)eine Linse mit einer langen Brennweite ist, die um die 500mm beträgt.
    [14] Beleuchtungskondensor nach einem der Ansprüche 1 bis13, dadurch gekennzeichnet, dass der Beleuchtungskondensor mit einerelektrostatischen Zerstreuungslinse kombiniert ist.
    [15] Beleuchtungskondensor nach einem der Ansprüche 1 bis13, dadurch gekennzeichnet, dass der Beleuchtungskondensor aus einerDublette von zwei Mehrspalt-Linsen besteht.
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    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    2006-03-02| OP8| Request for examination as to paragraph 44 patent law|
    2007-04-26| 8127| New person/name/address of the applicant|Owner name: VISTEC ELECTRON BEAM GMBH, 07745 JENA, DE |
    2008-01-31| 8364| No opposition during term of opposition|
    2014-11-01| R119| Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee|
    2015-02-05| R119| Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee|Effective date: 20141101 |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    DE200410019835|DE102004019835B4|2004-04-23|2004-04-23|Beleuchtungskondensor für ein Partikeloptik-Projektionssystem|DE200410019835| DE102004019835B4|2004-04-23|2004-04-23|Beleuchtungskondensor für ein Partikeloptik-Projektionssystem|
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